第五十三章 设备改造跨越式成功！第3/4段
手工操作对集成电路的影响可谓是全方面的，不谈人工取件拿件对器件可能造成的污染，首先人的肌肉稳定性、注意力等等方面，和自动设备相比，先天上就居于下风。哪怕是一个极为出色的操作员，在长期枯燥的重复劳动中，也难免会在不经意间出现误操作。而且即便是这个操作员注意力非常集中，肌肉控制力超群，可他每一次移动掩膜、推动光刻头之后，都需要重新对准、聚焦，再怎么熟练的操作员，其复位、步进、精确控制的效率也不可能比机器更高。
要想提升集成电路制备品质、生产效率，用自动化仪器代替手工操作，是见效最快、最容易实现的，即便是国内较低的自动化测量、控制水平，也可以使得整体水平出现一个飞跃式跨进。
而且之前，他们已经积累了相当的应用经验。
当初在制造单晶炉控制部件、运动部件上，他们与单晶炉制造厂家、自动化研究所协作，已经积累了丰富的经验，并具有了相当的默契。郭逸铭他们这次再次与自动化研究所携手，在和上海厂的技术人员进行充分交流之后，对国产的半导体制造设备进行了一次大刀阔斧的改造。
通过不断改进、尝试，设置了大量的传感器、伺服电机、自控程序，根据人工操作采样结果，采用预制步骤的方式，为如何将原来交由人工控制的各种操作尽可能减到最少，他们绞尽脑汁。
这方面，材料所也给与了大力协助。
董老等人得知郭逸铭他们在改进集成电路制造设备的消息以后，对如何实现自动化操作充满了兴趣，很快便也积极投入进来，从技术角度给与了全方面协助。
他们的支持非常关键。
论到对这个时代国内最尖端科技的实现方法，最为权威的部门莫过于材料应用所。董老他们查阅大量资料，和所里的技术储备，屡屡在郭逸铭他们改造遇到困难的时候，在关键地方提出了合理建议，从而使得他们得以突破技术难关。
郭逸铭提供技术思路、材料所负责提供本时代能够解决的技术、上海设备厂丰富的半导体设备制造经验、何师傅等人的超精密加工能力。他们亲密无间的合作，让设备改造进度飞快向前。
并且随着进度的提前，郭逸铭还对在集成电路制造中，居于最关键技术环节的光刻机设备的改造，做出了全新的改进。
光刻是进行集成电路制造的首要环节，其精度、成功率，可以说直接决定了集成电路制造的品质，和产品良品率高低，重要性无论如何拔高，都不为过。
国内当前的光刻机，还采用的是六十年代的接触式光刻机，在移动掩膜时，不留心就会碰触到光刻胶。而掩膜上哪怕是出现一个极其细微的损伤，都将给接下来的集成电路制造，带来无可估量的严重后果。
在此之外，国内现在的光刻机紫光照射，是通过透镜聚焦于一点，对局部电路进行光刻之后，再对另一个局部电路进行光刻处理。对比国外已经流行的伺服电机驱动、紫外光聚焦点对掩膜电路进行扫描式曝光，国内的光刻效率非常低下。
郭逸铭没有兴趣跟在外国人屁股后面，亦步亦趋。
他亲自动手设计，将原来接触式光刻平台，上移之后，通过光学作用，将透镜凝缩的聚焦点，扩张放大后再缩为一条线。
通过步进电机，精密驱动紫外光前后移动，变换曝光位置。
这可不是什么扫描式光刻机，而是后世才逐渐成熟，比扫描式光刻机更先进的步进扫描式光刻机。
这种光刻机，通过调整透镜距离，将原来点状的紫外光聚焦放大为覆盖到单晶硅边缘的条状曝光区。这样就可以一次性实现对整条区域内电路的照射曝光，一下子就将光刻效率提升数十倍，既加快了制造效率，又节约了成本，可谓是一举数得。
为了尽快完成对设备的改造工作，他们一直从80年11月，忙到了81年的3月下旬。
整整五个多月的时间，他们没有一天的休息时间。
为了节约每一份每一秒，尽管材料所就在马路对面，董老他们仍舍不得浪费这么一点点时间。所有参与技术攻关的人员，吃住都在行政楼内，稍微有一点空闲，他们也用来分析、讨论、研究如何对设备进行自动化改造。有好几次都已经深更半夜了，脑子里忽然有了某个思路的董老等人，也爬起来，心急火燎地敲开郭逸铭的房门，与他就此展开论证。
就这样，他们日以继夜的投入到改造工作中，所有人都忙得人不像人、鬼不像鬼，每天一直要忙到最后一丝精力都被榨干才精疲力尽投入梦乡。他们忙得连打理个人卫生的时间都没有，只有利用在进洁净车间经过必须洗漱程序时匆匆洗漱一下。
就这样，一直忙到81年3月23日，第一套完整的半导体制造设备终于装配完成。
设备的安装、调试工作也是一个需要非常小心的活。
高精密的设备，对工作环境的要求也是同样苛刻无比。这个时候，就显出了何师傅等人的本事，他们仅靠着肉眼观察、光影判断，就能精确判断出设备的倾斜角度是否符合要求，其精确率，丝毫不亚于上海厂几位拿着测试设备随时观测的工程师，且做出判断的速度，比他们摆放设备，从各个角度反复测量还来得快！
安装调试工作又用了将近一个月时间，4月17日，设备正式启用，进入试运行。
这是一个足以载入中美电子研究所史册的日子，当天，所有得知消息的研究、行政、工人全都放下了手头的活，聚到了处理器洁净厂房外。虽然他们不能进去，什么也看不到、听不到，但所有人都不肯离去，都默默地等在门口。
几位曾在无线电一所等好几家重点科研单位，从事了数十术人员进行充分交流之后，对国产的半导体制造设备进行了一次大刀阔斧的改造。
本章未完,请点击下一段进行阅读!